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用油来保持运动部件的密封、靠体腔容积变化而抽气的机械真空泵统称油封机械真空泵。从结构上看，定片泵、余摆线泵、旋片泵和滑阀泵均属油封机械真空泵类。它们的工作原理都是使泵体腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得最小时

真空中的热力学问题

它是研究真空中各种气相与凝聚相之间的转化过程。例如蒸发或凝结，分解，表面热化学反应，溅射，吸气或出气，吸附或解吸等。总之，这些均是真空中气体分子运动与器壁之间发生的各种物理过程，它们的理论原理是相似的。研究它们达到平衡时的状态以及这一过程进行的速率，在真空技术中是具有重要的实际意义的。

2、表面现象

这部分主要是研究气体分子在器壁表面上的相互作用情况。对表面现象的研究奠定了超高真空技术的主要理论基础，因而在气源和抽气两方面均有重要的发展和应用。
具体地说，蒸发、升华、溅射、吸附等发生在固体或液体表面上的现象，在真空技术中也经常遇到。对它们的深入研究而建立起了另一新型学科—表面科学。它是综合了各基础学科的边缘科学，具体包括表面物理、表面化学及表面分析方法几方面。表面分析方法自六十年代以来已有56种之多。近年来发展的定型仪器主要有俄歇(Auger)电子谱仪(简称AES)、离子散射谱仪(ISS)、二次离子质谱计(SIMS)、X-光电子能谱仪(XPS)、紫外光电子谱仪(UPS)、角分布电子谱仪(ADES)和低能电子衍射仪(LEED)等。这些仪器能给出表面的各种形位、组分、结构和能态等信息，是重要的研究手段，应引起真空技术工作者的注意。

3、浓解和扩散

这是研究气体分子透入器壁内部的过程，主要还是为了研究气源问题，如出气和渗透现象等。在真空技术中对某些吸气过程也作些探讨。

以上三部分就是研究气体分子器壁

，与泵的入口管道连通，于是气体就进入，一直到容积最大并重新与入气管分开时为止。当容积减小时，气体被压缩，直到气体的压强大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。
2、用油作密封泵系液的必要性

当前大量使用的机械真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使达到百分之几毫米，在它达到极限真空时，也难以阻止气体由高真空端向入口端“突破”返流。油封机械真空泵就是用油来使相向运动的零部件和排气阀零件间均密封起来，从而使泵能达到较高的真空度。这时它们的密封度就是对油而不是对空气来言，高压气体反“突破”的机会就少得多，密封性能也就好得多。

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